一、大略叙述为“等离子体加强金属有机化合物化学气相淤积”技术之略称,PAMOCVD装置可用于:
    、CVD TiN涂层,外表呈金黄色,对高速钢,其硬HV1500~2000;、PAMOCVD Ti(CON)涂层,使金属同时具备化合物层和廓张层,膜基接合坚固。外表呈黑灰色略显黄,金属硬度可达HV1300~1500;、离子渗氮和多元渗,金属硬度可达HV1100左右。
    涂层处置件涵盖:工生产模型、轴承、齿轮等结构件,各种有色金属件和硬质合金件,也可作扮饰涂层。
    有机化合物对金属作硬质涂层可解决用TiCl4涂层对真空炉体的腐蚀,且工艺牢稳。这是金属件外表改性的最新技术之一。高频电泳电源二、设施规格功率:
    电压:0~2000V可调镀膜室:Φ800×900mm(具体尺寸可依据用户要求订制)极限真空:
    最大处置作件:
    运用温度:480~700℃徽标扼制参变量:真空度;温度;气体流量;气体比例;时间。
    三、设施系统设施涵盖:
    、直流电子脉冲电源;、真空炉体;、真空系统;、进气系统;、气体净化系统等。电泳整流器如下所述图所示四、运用生存的年限比Φ6.8mm钻头:北京量刀具厂按国度标准(加大转速)相比较尝试内最后结果如下所述:
    高速钢未涂层钻头,均匀钻12孔,磨耗超差废弃。
    涂层TiN钻头,均匀钻20孔,比不涂层钻头运用接受命令增长一倍左右。
    有机化合物涂层Ti(CNO)钻头,均匀钻46孔,比不涂层钻头运用生存的年限增长2~3倍。
    深圳超艺工商企业企业,武汉交通工具标准件厂,武汉冠华螺钉厂,安徽合肥9023邮箱,鄂城钢厂运用该设施处置的冲头、生产模型、齿轮等运用生存的年限均增长一倍以上。
    台湾伟钛企业置办PAMOCVD-30装置一台,处置自攻螺钉冲头600多个,均匀运用生存的年限增长一倍以上。